哪里五卤化铌回收(氮化铌回收)

admin 铑铱钌铟 发布日期:2021-10-18 17:24:00

哪里可以五卤化铌回收?湖南公司不仅仅可以回收氮化铌,还能够第一时间给予您准确的报价。能够给您最快的检测。同样特别有利的是,根据本发明的溅射靶中的至少一些颗粒具有再结晶的微结构。颗粒的形成结构和它们的细长形状也在这里得以保持,但在这种情况下,五卤化铌颗粒内部的颗粒结构至少是部分精细的球形。

氮化铌这样可以进一步提高溅射烧蚀的均匀性。根据本发明的溅射靶中的基体和颗粒具有至少部分再结晶的微结构是非常非常有利的。在根据本发明的溅射靶中,氧含量优选0.5原子%,对应于800重量ppm的值。过高的氧含量将导致不希望的氧化物的形成,这反过来将对溅射行为产生不利影响。因此,五卤化铌氧化物可以例如促进局部初期熔化(电弧)的发生。因此。

氮化铌将本发明的溅射靶中的氧含量保持在低水平是有利的,五卤化铌从而在很大程度上防止不希望的氧化物的形成。但是,在固结过程中,特别是在HIP生产的情况下,氧含量不能进一步降低,一定比例的氧化物保留在溅射靶的微结构中。由于氮化铌还会削弱基体中微观结构和颗粒之间的界面,从而降低可变形性,因此基体和颗粒之间的这些界面基本上不含氧化物是特别有利的。

然而,在这种微观结构中,氧化物可以存在于颗粒内部。颗粒内部存在的氧化物不会导致变形性的任何降低,即,根据本发明的溅射靶的相对密度优选大于或等于理论密度的98.5%。因此,在氮化铌溅射靶的微结构中也可能存在孔隙,但是孔隙率优选小于1.5%。

高相对密度和低氧含量保证了特殊的无弧溅射。密度是由阿基米德原理确定的,阿基米德原理描述了固体浸没在液体中的质量、体积和密度之间的关系。重量减去浮力由浮力法确定,由浮力法计算相对密度,由空气重量计算相对密度。这里,相对密度是基于每种材料的理论密度的测量密度。在另一个有利的实施例中。

溅射靶的组成由5至15原子%的至少一种选自(钽、铌)的金属、余量的钼和典型的杂质组成。为了本发明的目的,典型的杂质是通常存在于原料中或归因于生产过程的两种杂质。因此,在这种情况下,溅射靶由钼-铌或钼-钽的二元合金组成。与其他成分或元素的合金相比,这种合金具有成本优势。另外,固溶强化通常较低。

所以变形性好。特别优选的是,根据本发明的溅射靶中的族金属(钽、铌)是铌。钼铌合金具有特别好的腐蚀和蚀刻性能,比钼钽合金便宜。特别优选将根据本发明的溅射靶配置为管状靶。管状靶可以覆盖大面积,溅射过程中溅射靶的材料利用率更高。将化合物引入罐中(通常由钢制成)。

然后关闭罐。热等静压固结通常在1000至1600的温度下进行。80兆帕至200兆帕的压力。作为本发明方法的一部分,至少一个热处理步骤在压力和温度的适当组合下进行,使得本发明的微结构,即至少包括平均钼含量大于或等于3的基体。嵌入基体中的是92at%%颗粒和由含有至少一种金属(钽、铌)和钼的固溶体组成的颗粒,并且平均钼含量大于或等于15at%%。钼和至少一种金属(钽、铌)的有意相互扩散可以确保这一点。

除了提到的工艺步骤,可以另外执行一个或多个模制步骤。这种成形步骤可以在(ii)固结和(iii)热处理之间、热处理之后、之前和之后进行。五卤化铌溅射靶的尺寸可以通过形成步骤显著增加,并且可以进一步对于五卤化铌回收价格,一般是不论形态、含量、数量,均可高价回收的。您无非是需要确定回收公司是否是源头提炼工厂。